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超高精影像测量机

简要描述:

超高精影像测量机的特点采用高精度气浮轴承线性导轨系统,从而将直线度误差减少到Z小。采用分辨率为 0.01mm 的玻璃光栅尺,此玻璃光栅尺由位于地下 11 米处的高精密工厂制造。通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺,将温度变化对精度的影响减少到Z低。使用有限元方法 (Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。稳定的几何量精度

更新时间:2017-09-26

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超高精影像测量机

超高精影像测量机的性能参数

型号 ULTRA QV404 PRO
测量范围 X 轴 400mm
Y 轴 400mm
Z 轴 200mm
分辨率 0.01µm
高灵敏度 CCD 照相机 黑 & 白
精度 *(20ºC±0.2ºC)
E1XY (0.25+L/1000)µm
E1Z (1.5+2L/1000)µm
[(1+2L/1000)µm: 10 - 60mm]
E2XY (0.5+2L/1000)µm
超高精影像测量机zui大驱动速度 (X/Y/Z 轴) 150mm/sec
照明(PRL: 可编程环形照明)
表面 卤素灯
轮廓 卤素灯
PRL 卤素灯
放大倍率转换系统 可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸 493 x 551mm
台面zui大承重 40kg
尺寸 (W x D x H)** 1200 x 1735 x 1910mm
重量 ** 2150kg

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