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首頁>產品中心>Mitutoyo形狀測量儀>日本三豐輪廓測量儀>CS/CS-H5000CNC525系列-超級輪廓測量裝置

525系列-超級輪廓測量裝置

簡要描述:

高精度測針型 CNC 表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀 / 輪廓的測量。X1 軸和 Z2 軸的Z大驅動速度分別為40mm/s 和 200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓 / 多工件測量的效率。X1 軸和 Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實現高分辨率 [X1 軸分辨率 :6.25nm, Z1 軸分辨率 :4nm/8nm(CS-
5000CNC),

即时比分网GENGXINSHIJIAN:2018-08-20

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525系列-超級輪廓測量裝置

超級輪廓測量裝置技術參數 :

X1 軸
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
檢測方法 : 激光全息光柵尺
驅動速度 : zui大 40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測量速度 : 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
測量方向 : 向前/向后
直線度 : (0.1+0.0015L)µm 使用標準測針(0.2+0.0015L)µm使用二倍長型測針
直線度 : (0.05+0.0003L)µm 使用標準測針(0.1+0.0015L)µm使用二倍長型測針(CS-H5000CNC)
指示精度 (20ºC): ±(0.3+0.002L)µm
指示精度 (20ºC): ±(0.16+0.001L)µm
L 為驅動長度 (mm)
超級輪廓測量裝置Z1 軸
測量范圍 : 12mm (使用標準測針)
24mm (使用二倍長型測針)
分辨率 : 0.004µm (使用標準測針)
0.008µm (使用二倍長型測針)
0.001µm (使用標準測針)(CS-H500CNC)
0.002µm (使用二倍長型測針)(CS-H500CNC)
測針上/下運作 : 弧形運動
檢測方法 : 激光全息光柵尺
指示精度 (20ºC): ±(0.3+I0.02HI)µm
指示精度 (20ºC): ±(0.07+I0.02HI)µm
H 為測量高度 (mm)
測力 : 4mN (使用標準測針)
0.75mN (使用二倍長型測針)
跟蹤角度 : 向上 60º, 向下 60º
(取決于表面粗糙度)
測針針尖 : 參見 L-22 頁
測針方向 : 向下
Z2 軸 (立柱)
測量范圍 : 300mm 或 500mm
*CS-H5000CNC : 僅 300mm
分辨率 : 0.05µm
檢測方法 : 反射型線性編碼器
驅動速度 : zui大 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm
基座材料 : 花崗巖
超級輪廓測量裝置Y 軸 *
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
驅動速度 : zui大 200mm/s (CNC 模式)
0~50mm/s (操縱桿控制模式)
工件zui大承重 : 20kg
直線度 : 0.5µm/200mm
指示精度 (20ºC): ±(2+2L/200)µm
L 任意兩點間的長度 (mm)
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm: 高立柱型)
重量 : 240kg (250kg: 高立柱型)

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